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正性光刻胶(如 YK-300)
应用场景:用于芯片的精细图案化,如集成电路(IC)、分立器件(二极管、三极管)的制造。
特点:高分辨率(可达亚微米级),适用于多层光刻工艺,确保芯片电路的高精度与可靠性。
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负性光刻胶(如 JT-1000)
应用场景:用于功率半导体(如 MOSFET、IGBT)的制造,以及传感器(如 MEMS)的微结构成型。
特点:抗蚀刻能力强,适合复杂图形的转移,尤其在深宽比要求较高的工艺中表现优异。
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纳米压印光刻胶(JT-2000)
应用场景:第三代半导体(GaN、SiC)芯片、量子点器件及微流控芯片的制造。特点:耐高温(250℃)、耐酸碱,支持纳米级精度图案复制,降低芯片的制造成本。
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吉田半导体的自研产品已深度融入国内半导体产业链:
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芯片制造:YK-300 光刻胶服务中芯国际、长江存储,支持国产 14nm 芯片量产。
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显示面板:YK-200 LCD 光刻胶市占率达 15%,成为京东方、华星光电战略合作伙伴。
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新能源领域:无卤无铅焊片通过 UL 认证,批量应用于宁德时代储能系统,年供货量超 500 吨。
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研发投入:年研发费用占比超 15%,承担国家 02 专项课题,获 “国家技术发明二等奖”。
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产能规模:光刻胶年产能 5000 吨,纳米压印光刻胶占全球市场份额 15%。
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质量体系:通过 ISO9001、IATF 16949 等认证,生产过程执行 8S 管理,批次稳定性达 99.5%。
吉田半导体将继续聚焦光刻胶研发,加速 EUV 光刻胶与木基材料技术突破,目标在 2027 年前实现 7nm 制程材料量产。同时,深化国产供应链协同,构建 “材料 - 设备 - 工艺” 一体化生态圈,为中国半导体产业自主化贡献 “吉田力量”。
从突破国际垄断到行业标准,吉田半导体以自研自产为引擎,走出了一条中国半导体材料企业的崛起之路。未来,公司将以更具竞争力的产品与技术,助力中国半导体产业迈向更高台阶。
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研发投入的“高门槛”
一款KrF光刻胶的研发费用约2亿元,而国际巨头年研发投入超10亿美元。国内企业如彤程新材2024年半导体光刻胶业务营收只5.4亿元,研发投入占比不足15%,难以支撑长期技术攻关。
2. 价格竞争的“双重挤压”
国内PCB光刻胶价格较国际低30%,但半导体光刻胶因性能差距,价格为进口产品的70%,而成本却高出20%。例如,国产ArF光刻胶售价约150万元/吨,而日本同类产品为120万元/吨,且性能更优。
突破路径与未来展望
原材料国产化攻坚:聚焦树脂单体合成、光酸纯化等关键环节,推动八亿时空、怡达股份等企业实现百吨级量产。
技术路线创新:探索金属氧化物基光刻胶、电子束光刻胶等新方向,华中科技大学团队已实现5nm线宽原型验证。
产业链协同创新:借鉴“TSMC-供应商”模式,推动晶圆厂与光刻胶企业共建联合实验室,缩短认证周期。
政策与资本双轮驱动:依托国家大基金三期,对通过验证的企业给予设备采购补贴(30%),并设立专项基金支持EUV光刻胶研发。
LCD 正性光刻胶(YK-200)应用场景:LCD 面板的电极图案化(如 TFT-LCD 的栅极、源漏极)、彩色滤光片制造。特点:高感光度与均匀涂布性,确保显示面板的高对比度和色彩还原度。
厚膜光刻胶(JT-3001)应用场景:Mini LED/Micro LED 显示基板的巨量转移技术,以及 OLED 面板的封装工艺。特点:膜厚可控(可达数十微米),满足高密度像素阵列的精细加工需求。
PCB 光刻胶(如 SU-3 负性光刻胶)应用场景:高多层 PCB、HDI(高密度互连)板的线路成像,以及 IC 载板的精细线路制作。特点:抗电镀性能优异,支持细至 50μm 以下的线宽 / 线距,适应 5G 通信、服务器等 PCB 需求。
吉田半导体实现光刻胶技术突破,为半导体产业链自主化提供材料支撑。
技术验证周期长
半导体光刻胶的客户验证周期通常为2-3年,需经历PRS(性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)等阶段。南大光电的ArF光刻胶自2021年启动验证,预计2025年才能进入稳定供货阶段。
原材料依赖仍存
树脂和光酸仍依赖进口,如KrF光刻胶树脂的单体国产化率不足10%。国内企业需在“吸附—重结晶—过滤—干燥”耦合工艺等关键技术上持续突破。
未来技术路线
◦ 金属氧化物基光刻胶:氧化锌、氧化锡等材料在EUV光刻中展现出更高分辨率和稳定性,清华大学团队已实现5nm线宽的原型验证。
◦ 电子束光刻胶:中科院微电子所开发的聚酰亚胺基电子束光刻胶,分辨率达1nm,适用于量子芯片制造。
◦ AI驱动材料设计:华为与中科院合作,利用机器学习优化光刻胶配方,研发周期缩短50%。
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广东吉田半导体材料有限公司的产品体系丰富且功能强大。
在光刻胶领域,芯片光刻胶为芯片制造中的精细光刻环节提供关键支持,确保芯片线路的精细刻画;
纳米压印光刻胶适用于微纳加工,助力制造超精细的微纳结构;
LCD 光刻胶则满足液晶显示面板生产过程中的光刻需求,保障面板成像质量。
在电子焊接方面,半导体锡膏与焊片性能,能实现可靠的电气连接,广泛应用于各类电子设备组装。
靶材产品在材料溅射沉积工艺中发挥关键作用,通过精细控制材料沉积,为半导体器件制造提供高质量的薄膜材料。凭借出色品质,远销全球,深受众多世界 500 强企业和电子加工企业青睐 。
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